μ-synthesis鲁棒控制相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

μ-synthesis鲁棒控制相关论文

基于非线性和柔性特性分析及补偿的直线电机精密运动控制

现代的机电系统,例如先进机床、微电子和半导体制造装备、光学检测系统和芯片传输系统,通常需要高速高精度的直线运动。而直接驱动......

学位

直线电机精密运动控制自适应鲁棒控制非线性补偿定位力动态摩擦力非线性电磁驱动力高频柔性动力学控制参数优化 μ-synthesis鲁棒控制

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