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Φ1.8mm棒状压电陶瓷微马达的研究
提出一种低成本、结构简单,直径为¢1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微......
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压电微马达
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microultrasonicmotor:microactuator
piezoelectricceramic
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