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随着成膜工艺的日臻成熟，类金刚石(DLC)及a-SiC：H薄膜将得到更加广泛的应用，为了使其应用于航天、航空及核反应堆中的某些关键器件，对......
碳化硅(SiC)材料由于具有禁带宽度大、电子饱和漂移速度高、电子迁移率高、临界击穿电场高、热导率高、介电常数小、化学稳定性好......
