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Zr-Co-RE相关论文
Zr-Co-RE薄膜的制备和吸气性能研究
吸气薄膜是真空科学与技术中真空获得与维持的关键功能材料,在超高与极高真空系统、平板集热器、微电子机械系统等领域广泛应用,是......
学位
薄膜吸气剂
Zr-Co-RE
磁控溅射
激活
吸气性能
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