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激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用
为了维修TFT-LCD电路缺陷,利用激光化学气相沉积法(LCVD)沉积钨薄膜,讨论成膜参数对基底损伤、钨薄膜电阻率的影响。在空气氛围下,波......
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TFT-LCD
激光化学气相沉积法
缺陷维修
W(CO)6
电阻率
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