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TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能
采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫......
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扫描电子显微镜
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