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TFT-LCD基板相关论文

用于TFT-LCD生产线的新一代PECVD和PVD系统

在2003年11月28～31日于日本YoKohama举办的FPD展览会上展示了最大尺寸的aSi淀积基板,这种基板可满足在一块基板上生产40英寸电视的......

期刊

TFT-LCD基板 PECVD PVD系统薄膜淀积发展趋势 TFT-LCD Substrate PECVD PVD System Thin film dep

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