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SiO2绝缘薄膜相关论文
切削刀具测温传感器SiO2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO2多层复合绝......
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切削刀具
测温传感器
SiO2绝缘薄膜
多层复合
磁控溅射
cutter measurement temperature sensor Si02 insulat
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