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改性含钪薄膜阴极的研究
采用Sc6WO12+W代替传统的Sc2WO3+W材料制备溅射靶,利用三极直流溅射方法制备含钪薄膜阴极。这种方法不需要在覆膜过程中通入氧气或采......
期刊
Sc6WO12
钪
阴极
溅射
覆膜
Sc6 WO12 + W
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