实验中采用三种剂量注入ＳＩＭＯＸ材料中，注入剂量分别为５×１０＾１２Ｆ＾＋／ｃｍ＊＾２，５×１０＾１３Ｆ＾＋／ｃｍ＾２，１×１０＾５Ｆ＾＋／ｃｍ＾２，用ＳＩＭＳ技术了Ｆ在材料中的浓度分析，结果表明，随着注Ｆ＾＋能量和剂量的改变，Ｆ＾＋在材......