实验中采用三种剂量注入ＳＩＭＯＸ材料中，注入剂量分别为５×１０＾１２Ｆ＾＋／ｃｍ＊＾２，５×１０＾１３Ｆ＾＋／ｃｍ＾２，１×１０＾５Ｆ＾＋／ｃｍ＾２，用ＳＩＭＳ技术了Ｆ在材料中的浓度分析，结果表明，随着注Ｆ＾＋能量和剂量的改变，Ｆ＾＋在材......

讨论了由国产LC-14型强流氧离子注入机制备的SIMOX(separation by implanted oxygen)材料薄膜厚度的测量和分析.采用红外吸收光谱......

对用多次注入与退火技术制成的ＳＩＭＯＸ材料制备的Ｎ沟ＭＯＳＦＥＴ进行了６０Ｃｏγ射线累积剂量辐照试验，测量了不同辐照偏置条件和辐照剂量下的亚阈特性曲线和阈......