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PdNi薄膜相关论文
基于MEMS技术PdNi薄膜传感器的制备与性能研究
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
学位
PdNi薄膜
氢气传感器
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高灵敏度氢探测薄膜传感器的制备及性能研究
氢气作为清洁能源引起了人们的极大关注,也是未来最有潜力的能源之一。本文针对氢气浓度跨度大、测量下限低、功耗低、工作模式简......
学位
PdNi薄膜
氢气传感器
惠斯通电桥
MEMS
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