NiTi薄膜相关论文
本文利用模板,采用磁控溅射法在PZT基体上溅射沉积局限面积的NiTi SMA薄膜,运用SEM、显微硬度测试与阻抗分析等研究了所制备材料的......
采用直流磁控溅射方法,制备出沉积在不同温度衬底上的NiTi薄膜.应用X射线衍射、小角X射线散射和差热扫描量热法研究了两种衬底温度......
采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热......
NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行......
NiTi形状记忆合金薄膜具有形状记忆效应,极有希望用于制造高技术领域微电子机械系统中的微型激发器.NiTi形状记忆合金薄膜在制备和......
研究了适用于微器件的溅射态N iTi形状记忆合金薄膜。讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响。利用薄膜热相变特性制成......
利用直流磁控溅射法溅射沉积了NiTi形状记忆合金薄膜 ,对NiTi形状记忆合金薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应 ,研究了 5 5......
MEMS技术是二十一世纪迅猛发展的新兴技术,微驱动器是它的核心技术之一。记忆合金薄膜的性能在许多方面优于体材料,因而其在MEMS中......
