NbN薄膜相关论文
采用反应直流磁控溅射法在单晶硅(100)衬底上沉积纳米厚度的超薄NbN薄膜.通过X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),四探针电阻测......
本论文研究硅基超导氮化钛铌(NbTiN)薄膜的制备技术。针对NbTiN与硅基片晶格失配度较高导致超导性能的下降的难题,主要开展两方面......
宇宙微波背景辐射以后宇宙空间近一半的光子能量集中在太赫兹波段,因此该波段的天文观测和研究已成为现代天体物理的前沿领域之一......
太赫兹频段占有宇宙微波背景(CMB)辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为......
该文利用反应磁控溅射技术,在不同的工艺条件(沉积温度、反应气体分压和基片性质等)下制备了本征硬质薄膜BC、CrNx,、NbN和纳米复......
NbN是一种最常用的低温超导材料，与其他低温超导材料相比，具有超导转变温度高、能隙电压高、制备工艺成熟等优势和特点。制备NbN的目......
目前，超导氮化铌（NbN）薄膜是制备高性能单光子超导器件（SSPD）和超导热电子测辐射热仪（HEB）的首选超导材料，受到广泛的研究和关注。NbN具有......
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列NbN薄膜.用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微观结构,力学探针测量了薄膜的硬度和......
为研究Ti掺杂的NbN薄膜的机械和摩擦学特性,采用射频和直流磁控共溅射技术制备了Ti掺杂的NbN(Ti:NbN)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、......
用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si（100）衬底和Cu膜间制备了30nm的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃。......
氮化铌(NbN)薄膜是一种硬质过渡金属氮化物(TMN)薄膜,具有高硬度,高耐磨性,高熔点和高化学稳定性等优点,其在金属切削和保护涂层等......
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)因其在探测效率、暗计数、探测速度、时间抖动以及响应频谱等性能方面的优异表现,成为目前综合性能......
在制备NbN／AIN／NbN隧道结的工艺过程中，为了获得具有优质单晶结构的NbN薄膜。我们在MgO（111）基片上探索了直流溅射法制备NbN薄膜的生长......
本文应用SPC-350多靶磁控溅射仪制备NbN薄膜,并研究了氮分压对磁控反应溅射NbN薄膜微结构和力学性能的影响.......
目的:构建NbN薄膜生长-微结构-超导性能之间的关联性。方法:采用化学溶液沉积法制备性能优异的NbN薄膜,利用X射线衍射仪和场发射扫......
