MISHEMT相关论文
随着半导体科技的不断进步,硅基半导体技术取得了几十年来持续的发展,已经成为当今半导体技术中最为成熟的技术,但在功率半导体领......
功率半导体器件在电力电子、微波通信等领域具有极其广泛的应用,近年来市场对工作频率、耐压能力等性能不断提出新的要求。在硅基......
氮化镓(GaN)高电子迁移率晶体管(HEMT)由于其高电子迁移率、高击穿场强和高的电子饱和速度的优越特性而受到广泛关注。然而,仍存在......
本文通过射频磁控反应溅射实现高质量的AlN绝缘栅层,采用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀出凹栅槽结构,将MIS结构和凹栅槽结构的优点相结......
