提出了一种新型静态傅里叶变换光谱仪(FTS)。在该光谱仪的干涉系统中,采用两个具有周期性结构的微反射镜代替马赫-曾德尔干涉系统......

残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......

设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下......

提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构,通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动,带动镜面发生偏转.研究表明:......

微镜振动扫描技术已经较为广泛地应用在激光雷达、光学显示等科技领域,然而这种扫描通常是开环的,缺少对谐振微镜的实时角度同步测......

针对MEMS光开关的相关技术问题,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分......

考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程......

考虑边缘效应的影响,建立了耦合扭转微镜的非线性动力学方程,研究了正弦激励下耦合扭转微镜的动力学特性。数值分析表明,在考虑了......

本文设计了一种用于激光扫描的微反射镜，使用微结构对浙江光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算，该微反射镜可以８００Ｈｚ频率、......

针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析．从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性......

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基于多层硅表面微加工技术，设计并制造了一种全新的微镜结构，它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构，能......

报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜，其中复合静电驱动结构由一个平板驱......

In this paper,we present a twisting control scheme with proportional-integral-derivative(PID)sliding surface for a two-a......

驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题.根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了......