MEMS应变传感器相关论文
表面粘贴式MEMS应变传感器已被广泛运用于航空航天、汽车工业及土木工程等领域的应变测量和监测中。但由于粘接层的影响,结构的应......
由于MEMS传感器基片与基体并不接触,基体应变并不能准确地传递到MEMS传感器基片上,造成MEMS应变传感器的测量应变与基体的真实应变......