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氟化镁基底上HfO2中间层对Al2O3薄膜微观组织和力学性能的影响
采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层Al2O3薄膜和含有HfO2中间层的HfO2/Al2O3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 6......
期刊
HfO2中间层
AL2O3薄膜
微观组织
力学性能
氟化镁基底
HfO2 interlayerAl2O3 thin film microstructure me
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