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多电极静电拉伸薄膜反射镜的光学检测
利用研制的Φ300 mm口径多电极薄膜反射镜原理样机,开展了光学检测实验工作。利用高斯光学原理对薄膜反射镜的基本光学参数进行了......
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多电极
静电拉伸
薄膜反射镜
Hartmann光栏法
multi-electrode electrostatic stretch membrane mirror
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