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HF-PCVD法TiO2纳米晶的粒径与晶型控制
以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散......
期刊
HF-PCVD
TIO2纳米晶
粒径
晶型
HF-PCVD
TiO2 nanocrystalline
particle size
crystal phas
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