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GaAs-GaN相关论文
GaAs-GaN键合界面热应力的电子背散射衍射研究
采用扫描电镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)技术,观察和分析了GaAs和GaN晶片热压键合的界面热应力和晶片键合质量。利用EBSD测量了GaAs—......
期刊
GaAs-GaN
热应力
晶片键合
电子背散射衍射(EBSD)
GaAs-GaN thermal stress wafer bonding electron
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