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ECR等离子体刻蚀相关论文
ECR等离子体刻蚀对玻璃光学和润湿性能的影响
为了提高太阳能电池盖板玻璃的透过率和自清洁性能,采用电子回旋共振( ECR)等离子体刻蚀与金属颗粒掩膜结合的方法刻蚀硼硅酸盐玻......
期刊
ECR等离子体刻蚀
玻璃
透过率
亲水性
ECR plasma etching
glass
transmittance
hydrophilicity
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