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ECR磁控溅射相关论文

铁磁形状记忆合金Ni-Mn-Ga薄膜制备工艺研究

铁磁形状记忆合金(FSM A)是一种新型智能材料,N i-M n-G a合金是这种材料的典型代表。本文使用ECR磁控溅射方法在N aC l晶片上制备......

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铁磁形状记忆合金 Ni-Mn-Ga ECR磁控溅射薄膜

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