以实验数据为基础，运用人工神经网络方法，建立了电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ＥＣＲ Ｐｌａｓｍ ａ ＣＶＤ）淀积硅的氮、氧化物介质膜折射率ｎ 与气流配比Ｑ（Ｎ２）／Ｑ（ＳｉＨ４）和......

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本文介绍了电子回旋共振等离子体化学相沉积法淀积８０８ｎｍ大功率半导体激光器两端面光学膜的工艺，给出了工艺条件，探索了膜系监控的方法和优......

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电子回旋共振等离子体化学气相淀积法淀积介质膜是制备性能优良的光挑学膜和电介质膜的重要手段之一。本文报道了ＥＣＲＰｌａｓｍａＣＶＤ法淀积介质膜的工......