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CeO隔离层相关论文
反应溅射法连续制备CeO2隔离层
用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5%W衬底上连续制备了长10cm的CeO2隔离层.为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体.论......
期刊
反应溅射
连续沉积
CeO隔离层
NiW衬底
reactive sputtering
Continuous deposition
CeO2 buffer l
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