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为保证燃气轮机涡轮空心叶片在高温下的力学性能与强度,采用化学气相沉积（CVD）法在空心叶片内腔气体流道表面制备铝化物高温防护涂层......
针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究。理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积......
区熔多晶硅产品纯度要达到13N以上,同时硅棒要满足各项性能指标要求。由于研制周期长、制备难度大,国外工艺技术完全封锁,而国内多......
本文在基于异型热管传热的3对棒CVD反应器流场研究的基础上,将底盘电极数放大至9对,计算对比表明:9对棒CVD反应器体积增大了52.7%,......
采用计算流体力学软件（CFD）对化学气相沉积法制备石墨烯过程中CVD反应器内温度场及压力场进行模拟,分别研究了两种初始压力下反应器......
