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BTA去除相关论文
基于螯合剂与活性剂的Cu-CMP清洗液对BTA去除的影响
以螯合剂与活性剂为材料,利用难溶物质微弱电离平衡、螯合剂络合机理以及活性剂的铺展、润湿以及渗透作用,结合有机物结构相似相溶......
期刊
CMP后清洗
BTA去除
螯合剂
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