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高密度缺陷相关论文
瞬态退火中高密度缺陷对As增强扩散作用模型分析
分析了注入As在快速退火中的增强扩散效应,特别分析了注入层中缺陷生成过程所伴随的增强扩散效应。退火中引起高密度缺陷两种过程......
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缺陷
离子注入
瞬太退火
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扩散效应
高密度缺陷
拐点
中高密度
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