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间歇供气相关论文
利用间歇供气法在柔性衬底上制备多晶硅薄膜
通过热丝化学气相沉积法(HW-CVD),采用间歇供气方式制备硅薄膜.实验发现该方法在有机衬底上生长的薄膜为多晶硅结构,而采用连续供......
会议
多晶硅薄膜
柔性衬底
间歇供气
热丝化学气相沉积
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