超光滑相关论文
为了去除超光滑玻璃表面的纳米级颗粒, 利用白光干涉仪和原子力显微镜对普通湿法清洗和氢氟酸(HF)清洗后的超光滑抛光样件进行检测......
设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中。针对SiC反射镜的......
依据非晶合金薄膜生长对铜衬底的超光滑和低损伤要求，通过采用蓝宝石替代物实现进行式机械研磨。数值模拟结果表明能有效降低铜衬底......
运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工......
由于加工超光滑表面的古典法对加工者的经验要求较高，而且不同的加工者对抛光时间长短的控制也有较大的差别，因而下盘时机的准确判断......
基于“荷叶效应”的超疏水表面已经引起了人们的广泛关注。虽然该类表面具有很好的疏水性质,但对有机液体的疏油性以及对其他复杂......
利用计算流体力学软件Fluent对纳米颗粒射流超光滑加工的流场分布特点进行了流体动力学分析。基于仿真结果对去除函数的变化规律进......
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
为实现193nm投影物镜光学元件的超光滑加工,介绍了一种非接触式微射流超光滑表面加工方法,对该方法的材料去除特性和超光滑加工效......
讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差，进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Ｚｙｇｏ Ｍａｘｉｍ ３Ｄ５７００ 表面轮廓仪上使用２－５ ×和２０ ×Ｍｉｒａｕ 物镜测量......
随着高科技的飞速发展,航天事业的不断推进,高精度复杂光学元件的应用越来越广泛,且精度要求越来越高。本文以本公司加工的激光陀......
利用磁性抛光介质在梯度磁场作用下呈现出具有粘塑性的类Bingham流体的特点,实现了对具有超光滑表面精度要求(表面粗糙度一般低于0......
针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求,制定了"传统研抛+离子束抛光"的工艺方法,并在一块口径为100mm的试件上进......
同步辐射超光滑X射线光学元件的加工工艺与检测技术是一个新兴的领域，工作在短波段的光学元件的加工工艺及检测是软X射线光学基础技......
防覆冰意义重大。目前防冰技术中的热力和机械防冰除冰浪费能源,化学防冰危害环境,相比之下,涂层防冰最近备受重视,其中超疏水涂层......
为满足193 nm投影光刻物镜对光学元件不同频段的精度要求,提出了一种将超光滑加工和高精度面形修正相结合的超高精度光学元件加工......
超光滑表面在现代光学领域的应用愈来愈广泛,相应的超光滑表面加工技术也就成为超精密加工技术的重要组成部分。介绍了超光滑表面......
对抛光模的制作、抛光粉的添加、加压的方式以及抛光后的清洗这一整套生产流程中所涉及的核心技术进行了部分改进和详细介绍,并最......
为了实现光学元件表面超光滑加工,避免传统机械加工方法造成的亚表面损伤,将射频等离子体加工应用于石英玻璃抛光加工。分析了通过......
