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籽晶台形状对PVT法同质外延生长氮化铝单晶初始生长的影响
借助专业长晶模拟软件FEMAG和自主开发的对流、传质、过饱和度及生长速率预测等有限元模块研究了物理气相传输法(PVT)同质外延生长氮......
期刊
物理气相传输法
氮化铝
同质外延
籽晶台
数值模拟
过饱和度
径向温度梯度
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