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硅尖锥相关论文

Si—FEA冷发射微阴极阵列实验研究

对Ｓｉ－ＦＥＡ冷发射微阴极阵列的微电子工艺技术制备方案及其测试观察结果进行了技术报道。已经获得了２０×２０／１００×１００硅尖锥阵列和栅压在１００￣４００Ｖ之间５０μ......

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微阴极阵列硅尖锥栅孔场致发射 FEA Si tips gate hole field emitters

等离子刻蚀制造硅场发射阵列

本文介绍了一种全干法二步刻蚀制造高发射效率的场发射阵列的方法。...

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等离子刻蚀反应离子刻蚀硅 FEA 硅尖锥

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