极紫外光辐射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

极紫外光辐射相关论文

Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究

激光等离子体极紫外光源具有体积小、稳定性高和输出波长可调节等优势，在极紫外光刻领域发挥着重要的作用。Bi靶激光等离子体极紫外......

期刊

Bi靶激光等离子体极紫外光辐射双脉冲离子碎屑

激光烧蚀辅助放电等离子体动力学及其极紫外光辐射研究

极紫外光辐射（输出波长在5-50nm之间）在诸多领域有着非常重要的应用,例如,在显微方面,基于极紫外光辐射照明的显微技术是纳米尺度微......

学位

激光烧蚀放电箍缩等离子体动力学 X-ray辐射信号极紫外光辐射

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