敏感薄膜相关论文
H2S是一种无色、易燃、剧毒的酸性气体,长期接触低浓度的H2S会对人的视觉、呼吸和中枢神经系统造成损害。近年来,氧化物半导体型气......
提出一种基于波分复用(WDM)的长周期光纤光栅（LPFG）光化学多参量传感技术。利用均匀LPFG相邻级次包层模耦合谐振峰间的波长间隔，通过......
为解决薄膜基荧光探测所必须面对的响应速度不快、可逆性不好、灵敏度不高和干扰多等问题，提出了荧光敏感薄膜的组合设计思想，即......
本文制备了以多壁碳纳米管作为敏感薄膜的电阻型湿敏元件.研究了湿度元件的电阻-相对湿度特性、湿滞及响应恢复特性.实验结果表明，......
作者提出了阴极—敏感薄膜复合结构的真空微电子压力传感器，在计算机模拟计算的基础上，对其结构尺寸进行了优化设计，并研制作出了阴极......
该文主要阐述了真空微电子压力传感器敏感薄膜研制实验，着重在双面光刻，各向异性腐蚀，腐蚀自停止等几个方面做了阐述。腐蚀的薄膜厚度......
应用表面光电压技术，通过光电效应，以光电流的形式检测溶液与敏感薄膜之间的界面电位，从而间接测定溶液的ｐＨ值。该文对三种不同ｐＨ值的溶液......
该文报导采用等离子体增强化学气相沉积技术淀积Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞－ＳｎＯ＜，２＞的敏感薄膜，制成旁热式氨敏元件并测量其敏感特性。......
由于汽车排气、工业的废气、生活燃气的增加,大气污染愈加严重,开发一种低成本,高性能的气敏传感器对大气进行监控显得越来越重要......
为了检测空气中特定气体的浓度,以满足不同工业环境的要求,本文在国家重点基础研究(973计划)项目“高性能电子产品设计制造精微化......
多孔硅(Porous Silicon,PS)是在硅基底上通过腐蚀形成的一种具有多孔性结构的材料。多孔硅具有大的比表面积、高的表面化学活性和......
本文采用Langmuir-Blodgett(LB)膜技术制备了CuTPP与ZnTPP两种金属卟啉功能薄膜。采用紫外-可见光吸收光谱(UV-vis),布鲁斯特角显......
pH测量与现代工业、农业、医学、生物工程、环境及科学研究等领域息息相关。离子敏感场效应晶体管(ISFET)是一种新型pH敏感器件。I......
光波导传感器具有灵敏度高、不受外部电磁场干扰、体积小、便于集成、响应快、可现场实时检测等优点，在气体、化学和生物检测领域中......
气体传感器作为一种新型的敏感元器件,近些年已经有了很大的发展,频率高、体积小、功能多、稳定性好、易于批量生产的声表面波器件......
声表面波(SAW, Surface Acoustic Wave)气体传感器越来越受到广泛的关注,现已成为气体传感器的研究热点之一,因为SAW气体传感器具......
文介绍了一种基于氧化锌纳米棒的声表面波氨气传感器.传感器采用声表面波振荡器结构,选频元件为声表面波谐振器,并通过水热法......
设计了一种新型微结构光纤光栅温度传感器。利用飞秒激光在光纤光栅(FBG)包层部分加工微结构,在含微结构的包层部分镀温度敏感膜,......
声表面波(Surfaee Acoustic Wave，SAW)气体传感器是基于新原理、新材料、新工艺而制作的新型传感器。它具有高精度、高可靠性和动态......
声表面波(Surface Acoustic Wave, SAW)气体传感器是涉及声表面波理论、器件工艺、薄膜理论、电磁、检测技术等科学领域的新型传感......
理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共......
本发明公开了聚吡咯／聚偏氟乙烯纳米纤维复合电阻型薄膜气敏元件及其制作方法。采用静电纺丝法在具有金叉指的陶瓷基体电极上沉积聚......
Poly4-vinylphenol (P4VP)/multi-wall carbon nanotubes(MWNTs) multi-layer sensitive films were deposited on interdigitated......
氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用。综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物......
采用同轴静电纺丝技术制备了SnO2-CuO复合纳米纤维,采用提拉法将SnO2-CuO纳米纤维涂覆于印有梳状Au电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏......
采用喷雾热分解法制备了Co Fe2-xCexO4纳米晶粒,利用丝网印刷技术均匀涂于带有2个金电极的氧化铝基板表面形成敏感薄膜,设计了一种......
为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度，以直接沉淀法制备了不同含量CeO2的CeO2-Co3O4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO2-Co3O4纳米......
为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路......
将功能敏感材料与光纤在物理层面进行有机融合,充分发挥光纤传感器在结构集成、材料集成等方面的优势,将有望发展新型的光纤传感器......
基于薄膜参量变化引起的长周期光纤光栅模式重组机制,系统研究了光纤包层半径变化对长周期光纤光栅薄膜传感器特性的影响.结果表明......
本文报道了以Ｆｅ（ＣＯ）５和ＳｎＣｌ４为源，采用ＰＥＣＶＤ技术淀积Ｆｅ２Ｏ３－ＳｎＯ２双层薄膜，将该薄膜淀积在陶瓷管上，对氨气的敏感特性进行了测量，并讨论了敏感机理。......
以低温水热法制备了TiO2-SnO2复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜式臭......
利用Alder法合成了5-（对羟基苯基）-10，15，20-三苯基卟啉（H2MTPP），并通过紫外一可见、红外等方法对其进行表征。利用旋转甩涂法将H2MTPP固......
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所......
提出了一种新型的光波导氨敏传感器，将光波导中消逝波理论与纳米多孔薄膜技术相结合，在玻璃薄膜光波导上制备一层纳米TiO2多孔薄膜，并......
声表面波(Surface Acoustic Wave, SAW)是沿物体表面传播的弹性波,外界的扰动对声表面波传感器来说或多或少会影响传播媒质的粘滞......
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结......
采用双喷嘴静电纺丝技术制备了SnO2/In2O3复合纳米纤维,涂敷于带有金电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型薄膜型甲......
为实现高精度温度检测,提出一种基于飞秒激光微加工的新型光纤温度传感器的制备方法。利用波长为780nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤......
期刊
利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃......
利用Alder法合成了5-（对羟基苯基）-10,15,20-三苯基卟啉（H2MTPP）,并通过紫外-可见、红外等方法对其进行表征。利用旋转甩涂法将H2MTPP......
以溶胶-凝胶法制备了SmFeO3复合纳米晶粒,采用提拉法涂敷于带有铂电极的氧化铝陶瓷管表面形成敏感薄膜,设计了一种新型甲醇传感器......
采用低温水热法制备了纳米氧化锌（ZnO）,并利用原位聚合法制备了ZnO/聚苯铵复合材料。将制备的ZnO/PANI纳米晶粒均匀涂覆于刻有叉指Pt......
