高温压力传感器相关论文
汽车、航空或者石油勘探等行业对压力传感器的需求量很大,这类行业涉及的很多设备也都工作在温度较高的环境中,这就要求压力传感器......
随着SiC材料和MEMS技术的发展,SiC电容式压力传感器被广泛应用于各种恶劣的工作环境中。本文基于ANSYS有限元软件,从绝缘结构、传......
耐高温压力传感器的压力测量广泛应用于工业控制领域,例如航空航天、军工、油井、石化等。为了提高MEMS压力敏感芯片的可靠性和传......
随着科技的发展,碳化硅高温压力传感器被广泛应用在石油钻井、化工冶金和航空航天等领域。目前国内外主要致力于传感器结构设计优......
高温压阻式压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。当前,适于高温环境应用的压力传感器研究备受关注。本文概述了高温压力......
本文针对石油化工领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术......
压力传感器在航空航天、压力容器、汽车、油气管道和气象等领域应用极为广泛。但是在核电、冶金、化工、发动机监控等领域对压力传......
本文针对一种基于蓝宝石敏感结构的光学式超高温压力传感器的核心部件——蓝宝石压力敏感结构封装工艺问题,介绍一种基于原子扩散......
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器.根据压阻效应原理......
本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器.......
本文介绍了宝鸡传感器研究所开发设计的动态压力传力传感器、微型压力传感器和高温压力传感器的尺寸、性能、精度以及在航发试验与......
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案,克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想,该文报道了作者用微机械加工的硅......
该文用带SiO夹层的硅硅键合技术获得SOI材料的方法制作出了SOI硅高温压力传感器。并测试了其各种性能指标,对其进行了简单的讨论,得......
该文介绍了用SOI结构实现高温超高压力(大于60MPa)传感器的研制。实现了超高压力下具有0.14℅的非线性输出,并且使用温度达到200℃;零......
该文简要介绍了用于高温压力传感器制造的3C-SiC/Si外延生长的研制方法和研究结果。对与压力传感器研制有关的掺杂工艺、刻蚀工艺、......
微机电系统MEMS(microelectromechanicalsystem)技术起源于微型硅传感器的发展,最初用于生产固态半导体硅压力传感器,而当MEMS技术迅......
发动机排气压力的测量对发动机性能的研究有着重要意义,由于发动机工作时排气门温度很高,普通压力传感器无法正常工作,因此研究能......
高温压力传感器是指其工作温度高于125℃的压力传感器。高温压力传感器以其优良的高温工作能力在压力传感器中一直受到高度重视,是......
论文从压电晶体的本构方程和波动方程入手,使用相对于参考状态的Lagrangian坐标描述,建立了通用的偏载电弹波动方程,在详细研究有......
该文开展了如下研究工作:1、全面了解高温压力传感器的最新发展动态,从技术角度详尽分析了不同产品的优缺点;并对SOI压力传感器的......
该文是国家自然科学基金项目"高稳定性高温压力传感器的研究"和天津市自然科学基金项目"高灵敏度高温压力传感器的研究"研究工作的......
高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器。在众多压力传感器中,高温压力传感器因其特殊的高温应用环境而日益......
本项目围绕电子材料及元器件、物联网、信息安全及信息技术应用等国家重点发展的信息技术领域,开展一系列的相关基础理论及关键技术......
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向......
基于弹性力学和板壳力学理论,分析了微型高温压力传感器圆形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法......
在国家“863”计划项目资金的资助下,西安交通大学精密工程研究所成功研制了…种可抗2000℃瞬时超高温冲击的硅隔离耐高温压力传感......
列入国家高技术研究发展计划(863计划)的“耐高温压力传感器”经过四年艰苦攻关,2004年6月中旬在西安交大研制成功。我国高温压力传......
高温压力传感器,在航空航天及工业领域有广阔的应用前景。由于工作在高温环境中,需要进行封装结构和优化,以减小器件因热膨胀系数......
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的ME......
高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法......
压力传感器的发展对测控工作起着重要的指引作用。常见压力传感器的测量温度都在200℃以下,无法精准测量高温下的压力。因此,国内......
针对高温压力传感器耐高温和高压的测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技......
研究基于离子电流的高温环境压力传感器,旨在替代带冷却设备的高温压力传感器,为脉冲爆震发动机(PDE)上必需的高温压力测量提供具有工......
研究了通过烧结曲线优化来实现无排气孔结构的高性能低温共烧陶瓷(LTCC)无源高温压力传感器的制备。通过对比实验,成功摸索出了无排......
在各种传感器中,高温压力传感器是目前应用非常广泛的一种。高温压力传感器因其特殊的应用环境而收到人们的重视。近些年,在石油、汽......
研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不......
采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AIN薄膜。用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析,研究了薄膜的绝缘特性和化学稳......
根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器--绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良......
论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅)、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅)、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光等高温压力传感器的基本结构、工作原理......
针对通用型高温微型压力传感器的测量要求,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si......
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制.此基片可供制造高温力学量传感器.其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN......
MEMS压力传感器的研制已相当成熟,但在高温领域却遇到了许多问题,为解决高温环境下压力测量的问题,文中介绍了一种新型Si C高温压......