扩散硅相关论文
本文利用半导体掺杂技术,制作一种适用于多参数集成式传感器的硅热阻传感器.该传感器针对本征半导体硅离子注入硼离子形成P+电阻,......
文中提出把固体体积参量转变成气体压力，实现体积非接触测量的一种新方法。按此工作原理研制成一种智能式非接触体积测量系统，测量速......
本文将扩散硅压力敏感芯片和驱动放大电路集成在一块专门设计的印制电路板上，然后运用SIPP技术和特殊的封装工艺将整个印制电路板封......
本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法.
This paper describes the core part of the pressure sens......
该文报道一种量程为１ＫＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了在高灵敏度下的非线性内补偿和强过载保护以及微压高频响，分析研究了最佳......
该文对ＯＥＭ压力传感器及ＯＥＭ压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨，同时结合自己的工作给出了现已生产的ＯＥＭ压力传感器的精度和分析。介绍......
该文定性地介绍了扩散硅压阻式压力传感器的设计方法，对其中的设计关键进行了讨论，对压力传感器的设计提供了参考。......
本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中，为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施，使传感器的工程......
扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器,具有精度高、尺寸小,长期稳定性好等优点,广泛用于流体压力、液......
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的SG-75扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围0.16～50MPa,满量程输出120～230mV/0.78mA,精......
随着电子技术与信息技术的不断发展进步，传感器已经被越来越多的运用到自动控制系统和工业系统中，它的运行状态的好坏直接关系到整个......
在工农业生产和生活实际中,尤其是在石油化工和对气液两相流的检测领域,需要测量竖直管段或倾斜管段差压信号的情景逐渐增多,由于......
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅......
本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法,解决......
研究了利用压力位移气动传感方法和扩散硅压力传感器所组成的系统,通过理论和实验方法对系统的特性、误差进行了分析,对系统的非线......
为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺，提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器，并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验......
对投入式扩散硅液位计的电子线路作了详尽的分析和理论计算。...
介绍了用扩散硅压力变送器测量水位信号的原理和方法,并且利用扩散硅压力变送器作为水位检测部件,结合组态监控技术,组成了实用的......
本文探讨了工业用扩散硅压力传感元件可靠性的问题,介绍了其应用环境特点、失效模式以及引起失效的种种因素,并从设计和工艺角度出......
通过将扩散硅压力传感器的每一道工序作为“部件或元件”构成“工艺”的可靠性框图，进行ＦＭＥＣＡ分析，指出了各个工艺所产生的失效模式，失效原......
压力变送器是许多工业设备中用以控制工业过程和压力变化的重要元件。本文以新研制的ＳＢＰ８００型扩散硅压力变送器为例，阐述了它的工作原理、......
本文给出了一种利用微型机对扩散硅压阻式压力传感器的温度误差进行综合处理方法,对智能压力变送器的研究有一定的实用价值。......
本文介绍了一种采用扩散硅压力传感器为一次仪表，二次仪表以ＭＣ－５１Ｓ系列单片机８０３１为主，组成的智能，多路液位检测仪表的工作原理及软件，硬件设计，该......
扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立上海大学自动化学院４９号信箱（上海：２０００７２）郎文鹏，赵维琴，闻国富，黄环轩引言由于传感器的精确度及可靠性对......
在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的ＫＳＹ型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施......
针对扩散硅压力传感器所存在的温度漂移和非线性等问题，分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，并利用单片机予以实现，最终使数字压力......
以系统的可靠性为目标对扩散硅液位变送器测量系统进行综合设计和技术改进.通过对系统的软、硬件功能的合理分配和对关键技术难点......
扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中，而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的，并具有优于其他传感元......
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 ......
扩散硅力敏传感器ＣＡＤ的技术包括３大部分；传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ。平面工艺ＣＡＤ是根据半导体技术的理论，将氧化，注入，退火，再扩......
采用“一桥两测”技术，以微机为核心设计了扩散硅压力传感器的自动测试补偿系统，并编制了相应的软件。......
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器，其压力量程为0．6kPa，线性优于0．5％。该器件填补国内空白，器件性能指......
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的ＳＧ－７５扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围０．１６￣５０ＭＰａ，满量程输出１２０￣２３０ｍＶ／０．７８ｍＡ，精度０．２％Ｆ．Ｓ，工作温区－３０￣９０℃，该传感器现已批量生产......
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅......
针对有线矿压监测系统存在的缺陷,提出了一种低功耗矿井无线压力传感器设计方法与实现电路。该方法从低功耗的视角,对传感器节点的......
本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封状工艺，提出了全固态隔度膜片结构的基本封装形式，并对传感器结......
