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随着微机械系统日益引起学术界的关注,微机械系统动力学的研究也日益提上日程。由于微机械系统中微观效应的影响,微机械系统的动力学......
该论文设计、加工和测试了一种便于检测、可在大气下工作的振动式微机械陀螺,并结合陀螺的研制,研究了多项相关的微机械动力学问题......
微致动器(Microactuator)是微机电系统(MEMS)实现物理功能的关键器件,是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中,先进的CAD系统己有效地......
我们把微机械器件中常见的静电驱动以及空气阻尼问题作为微机械动力学研究的重点,进行了研究和分析.该论文在静电驱动部分对平行板......
微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、......