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本文采用喷淋(shower-head)电极结合高频、高压和高功率的方法,进行了高速微晶硅材料的制备研究。首先关注了气压和电极间距这两个......
在微晶硅太阳电池中,P层作为电池的窗口层对电池的性能有重要影响.本文采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)的方法制备P型氢......
高速沉积微晶硅薄膜,实现微晶硅电池的产业化已经成为国际光伏领域研究热点。本论文采用VHF-PECVD技术,以高速制备器件质量级微晶硅......
本文采用高压结合超高频的技术路线,在等离子体增强化学气相沉积设备中实现了微晶硅材料和太阳电池的高速沉积,并结合测试等离子体光......