外差干涉相关论文
随着电子产品的高集成度和高性能化的发展,部件表面的光滑程度要求越来越高,计算机硬盘和大规模集成电路要求盘片或晶片表面具有纳......
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
在金属冶炼过程中,由于工业废气的排放不达标,导致中毒事件屡屡发生,其中硫化氢和一氧化碳等工业废气的存在对人体健康和生命安全......
文章介绍了应用激光干涉法于速度测量的实验原理及操作、外差干涉改进的相关原理.通过搭建迈克尔逊干涉仪,并将一面反射镜连接被测......
激光外差探测技术具有速度快、精度高、抗干扰能力强、重复性好等优点,已广泛应用于精密测量、检测、加工、激光雷达等技术领域。建......
为了实现工业上较大行程平移台滚转角误差的快速测量,研究平移台的滚转特性,设计和搭建了一种基于激光外差干涉技术的微小滚转角测量......
该文提出频率调谐LC泵浦Nd〈’+3〉微片激光器用于线性调频外差干涉绝对距离测量的原理,建立了由LD泵浦Nd:YVO〈,4〉微片激光器和以此为基础的绝对距......
针对激光频率长期漂移锁定问题,实现了一套以光学频率梳为参考源的数字稳频系统。该系统将被控激光与光学频率梳外差干涉,获取表征......
基于光学折射率是材料的一个重要的物理参数, 提出了一种在泰曼格林干涉系统基础上的光学外差干涉折射率测量方法及系统。测量系统......
光学外差干涉系统信号频率高,传统的过采样解调方法的成本高且数据量大,不利于实时解调监测。研究了欠采样数字正交解调方法,以降低外......
双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器件的各种误差因素会产生非线性......
随着工业制造、航空航天和计量测量技术的发展,大型高端装备的精密生产制造成为现代工业发展的趋势,高精度、大尺寸测量技术成为助......
由于存在周期性的非线性误差,外差激光干涉仪的测量精度很难提高.对此,首先分析了外差激光干涉仪中非线性误差的来源,包括频率混叠......
针对低相干外差干涉间隙测量技术应用于发动机、燃气轮机等设备内部高温、高压、强振等恶劣环境时,面临信号弱、信噪比差导致测量......
非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感器技术相结合制成的一种新型外差干涉仪。本文利用三角波......
随着现代工程技术向着精密化、智能化、高速化等方面的飞速发展,MEMS器件、机械零件、设备和工程结构的振动问题日益突出。模态分......
光干涉检测技术具有高精度和非接触式测量的优点,在许多重大科技领域起着不可替代的作用。随着科学技术的发展,由多种技术相结合所......
光纤表面等离子体共振传感器是光纤传感技术与表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)技术的联用,其既有SPR技术免标记、......
光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中,待测表面粗糙度的差异,使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏,而使表面粗糙度测量结......
本文论述了研制成的一种用于计算机硬盘盘片等超精密表面粗糙度非接触测量的智能化仪器;提出了基于外差干涉原理的平行双光束设计......
为提升精密测量的精度与量程,提出了激光光栅干涉技术的微位移测量方法。通过集成双光栅微位移测量方法以2组近似正交相位差的光栅......
该文提出频率调谐LC泵浦Nd〈’+3〉微片激光器用于线性调频外差干涉绝对距离测量的原理,建立了由LD泵浦Nd:YVO〈,4〉微片激光器和以此为基础的绝对距......
为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜......
利用半导体激光器 (LD)、光隔离器、光纤定向耦合器、自聚焦透镜等组成双路光纤斐索型干涉仪。采用三角波电流调制 ,上、下边沿拍......
现代超精加工的发展和生产自动化程度的提高,对表面粗糙度在线检测提出了迫切的要求.该文围绕利用光探针法在线测量表面粗糙度展开......
散斑干涉测量技术以其高灵敏性、实时、全场、无接触等优点,并结合相移技术、计算机、CCD和各种算法的发展,已被逐渐广泛地应用到微......
学位
散斑干涉测量技术具有非接触、灵敏度高和全场测量等特点,可以对物体表面的变形、粗糙度、应力应变和振动等进行静态和动态测量,在......
近年来,利用光纤应变传感器来实时监测结构或材料内部应变的所谓"智能结构"或"智能材料"的研究极为活跃;但对于光纤应变传感器说,......
半导体激光干涉技术是以半导体激光器为光源,在传统干涉结构的基础上不断创新,综合应用现代光电子学、信号处理、精密机械等多个领域......
随着航天、航空技术的不断发展,迫切要求航天、航空类发动机向大推力、高效率和高推重比方向发展,这就对发动机的综合性能特别是......
下一代微电子制造、精密计量以及物理前沿探索等领域将要求提供亚纳米甚至皮米量级超精密位移测量技术设备作为基础支撑和关键手段......
随着纳米级超精密领域,如引力波探测,的迅猛发展,外差干涉仪的研究越来越受到国内外研究学者的重视,其测量精度由纳米量级向皮米量......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法,该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为光源,采用专门设计的双折射透镜......
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法......
为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶......
台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在......
共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度。着重分析了在共光路外差干涉仪中......
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MH......
阐述了双波长单光栅式大量程纳米级位移测量系统的基本原理,并对系统具有的量程大、精度高、稳定性好等特点进行了介绍。由于系统......
通过激光光纤外差干涉测振法以及测量压电陶瓷元件振动特性的实验,介绍了激光测振法在动态测量实验中的应用,目的在于培养学生将激光......