固体掩膜版相关硕士博士期刊学术论文

研究了基于电感耦合等离子体（ICP）刻蚀系统的InP基半导体材料的干法刻蚀。采用Cl2/Ar/H2混合刻蚀气体,分别研究了氯气体积分数和ICP......