四探针测试技术相关论文
四探针测试技术是半导体工业检测电阻率时采用最为广泛的测试手段之一。随着时代的不断进步,半导体产业飞速发展,以单晶硅片为衬底的......
随着科学技术的飞速发展,计算机不断更新换代,存储容量在不断的增长,作为其基础元件的集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)阶......
利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础......
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分......
随着科学技术的飞速发展,作为计算机的基础元件——集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)发展。图形日益微细化,电路尺寸不断......
对3C电子产品的PCB以及安全性能要求高的汽车用PCB、医疗设备用PCB等,越来越多的客户要求进行微电阻测试。这是因为在这类PCB中,部分......
在计算机技术飞速发展的今天,计算机的存储容量日益增大,这样就对集成电路的制造工艺提出了更高的要求,要求集成电路的图形更加微......
随着电子科学技术的发展,各种电子设备的电路尺寸越来越小,集成化程度越来越高,这就要求制作电路的核心材料---半导体材料的各种电......
随着科学技术及半导体产业的飞速发展,以单晶硅为衬底的集成电路集成度越来越高。硅片材料的直径越来越大,同时图形不断微细化,电......
在半导体的生产和制造过程中,电阻率是检测半导体材料掺杂浓度的一个重要性能指标,因此测试微区电阻率成为了加工芯片时的一道重要工......