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通过检索近年来关于铝掺杂氧化锌薄膜晶体管(AZO-TFT)的相关文献,对文献进行研究综述。作为铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO-TFT)的替代方案,AZO-TFT近年来引起关注。文中阐述了不同的制备铝掺杂氧化锌薄膜晶体管的(AZO-TFT)有源层的方法,以期对今后的研究工作提供参考。
铝掺杂氧化锌薄膜晶体管研究发展现状
【摘 要】
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通过检索近年来关于铝掺杂氧化锌薄膜晶体管(AZO-TFT)的相关文献,对文献进行研究综述。作为铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO-TFT)的替代方案,AZO-TFT近年来引起关注。文中阐述了
【机 构】
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吉林建筑大学电气与计算机学院
【出 处】
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科学技术创新
【发表日期】
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2020年26期
【基金项目】
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吉林建筑大学大学生创新创业训练计划省级项目《新型显示技术中驱动器件的制备关键技术研究》资助
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