【摘 要】
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在我们以前的工作口0中，报道了基于重掺硼硅片（p^＋-Si）上掺Er的TiO2（TiO2：Er）薄膜的TiO2：Er／p^＋-Si异质结器件的电致发光。本文研究了TiO2：Er薄膜的氩（Ar）等离子体处理对TiO2：Er／p^＋-Si异质结
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51372219);“973”资助项目(2013CB632102);教育部创新团队计划资助项目(IRT13R54)
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在我们以前的工作口0中，报道了基于重掺硼硅片（p^＋-Si）上掺Er的TiO2（TiO2：Er）薄膜的TiO2：Er／p^＋-Si异质结器件的电致发光。本文研究了TiO2：Er薄膜的氩（Ar）等离子体处理对TiO2：Er／p^＋-Si异质结器件电致发光的影响。研究发现：Ar等离子体处理使TiO2：Er／p^＋-Si异质结器件与Er^3＋离子相关的可见和近红外电致发光都得到了显著的增强，同时也增强了与TiO2基体中氧空位相关的电致发光。这是由于Ar等离子体处理显著提高了TiO2：Er薄膜中的氧空位浓度，不但
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