【摘 要】
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本专利介绍一种红外辐射敏感器,该敏感器(1)包括一个热敏部分(7),热敏部分由衬底(2)内一个腔体(3)上的绝缘薄膜(6)支承。该热敏部件采用的是医用半导体和金属材料制作的肖特
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本专利介绍一种红外辐射敏感器,该敏感器(1)包括一个热敏部分(7),热敏部分由衬底(2)内一个腔体(3)上的绝缘薄膜(6)支承。该热敏部件采用的是医用半导体和金属材料制作的肖特基结二极管(7a)。绝缘薄膜最好制成桥式、悬臂式或者膜片结构。
This patent describes an infrared radiation sensor which comprises a heat-sensitive part (7) which is supported by an insulating film (6) on a cavity (3) in the substrate (2). The thermal part uses a Schottky junction diode (7a) made of medical semiconductors and metallic materials. Insulation film is best made of bridge, cantilever or diaphragm structure.
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《陕西森林》由我院张仰渠教授主编。西北林学院(王性炎、高绍棠、李广毅、薛德自、王幼民、王国礼、王进才、景耀、周嘉熹等)及西北农业大学、西北大学生物系、陕西省林业