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通过在原有射频放电平行平板等离子体聚合装置上增加卷绕机构,实现了大面积等离子体聚合镀膜.膜的最宽可达200 mm,镀膜速度可在0.01～5.00 mm/s范围内调节,薄膜可以正、反方向运动.
大面积等离子体聚合装置的研制
【摘 要】
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通过在原有射频放电平行平板等离子体聚合装置上增加卷绕机构,实现了大面积等离子体聚合镀膜.膜的最宽可达200 mm,镀膜速度可在0.01～5.00 mm/s范围内调节,薄膜可以正、反方向
【机 构】
：
兰州物理研究所
【出 处】
：
真空与低温
【发表日期】
：
2004年1期
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