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文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ,以期揭示未来的发展方向
微电子机械技术的发展与现状
【摘 要】
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文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ,以期揭示未来的发展方向
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2001年06期
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