【摘 要】
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微光机电（MOEMS）陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向，而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术．提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构，介绍了其工
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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微光机电（MOEMS）陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向，而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术．提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构，介绍了其工作原理和系统构成．建立了谐振腔的数学模型，并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析．为提高谐振腔清晰度及系统测量精度，优化了谐振腔输入输出镜的技术指标，并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计．结果表明：所设计的谐振腔清晰度可以达到346，陀螺极限灵敏度为0．25（°）／h，同时可以有效克服克尔
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