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主要针对多晶硅生产过程的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序中的应用进行研究,以期通过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生产成本。
多晶硅副产物二氯二氢硅的应用研究
【摘 要】
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主要针对多晶硅生产过程的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序中的应用进行研究,以期通过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司
【出 处】
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有色冶金节能
【发表日期】
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2014年3期
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