离子束法淀积类金刚石膜

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一、引言自七十年代初。由Aisenberg等人开始至七十年代末Weissmantel等人,用各种不同的离子束淀积方法都生长出了类金刚石碳膜。这种膜的性质透明,绝缘性高,折射系数大,能长期耐酸腐蚀,硬度高能划分玻璃,具有类似于金刚石的性质,故称类金刚石膜。 First, the introduction since the early 1970s. From the beginning of Aisenberg et al. To the late seventies Weissmantel et al. Grew diamond-like carbon films by a variety of ion beam deposition methods. The nature of this film is transparent, high insulation, refractive index, long-term acid corrosion, high hardness can be divided into glass, with the similar nature of the diamond, so called diamond-like film.
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