【摘 要】
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氧化锡(SnO_2)导电膜是一种应用广泛的透明金属氧化膜,它是一种多晶结构的薄膜。在可见光范围内透过系数大于0.9,在红外区受到强吸收。纯氧化膜是一种宽禁带的n型半导体,其导
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氧化锡(SnO_2)导电膜是一种应用广泛的透明金属氧化膜,它是一种多晶结构的薄膜。在可见光范围内透过系数大于0.9,在红外区受到强吸收。纯氧化膜是一种宽禁带的n型半导体,其导电电子浓度为10~(19)～10~(20)cm~(-3),霍耳迁移率30cm~2V~(-1)s~(-1),电阻率为10~8Ωcm。
Tin oxide (SnO 2) conductive film is a widely used transparent metal oxide film, which is a polycrystalline structure of the film. The transmission coefficient in the visible range is greater than 0.9 and is strongly absorbed in the infrared region. The pure oxide film is a kind of n-type semiconductor with wide bandgap. Its conductivity is 10 ~ 19 ~ 10 ~ 20 ~ cm and the Hall mobility is 30cm ~ 2V ~ (-1) s ~ (-1), the resistivity is 10 ~ 8Ωcm.
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